2020年6月27日至6月29日，運動與控制領域的先行者——派克漢尼汾攜CGA DISS鋼瓶接頭、VA01高頻閥、PRN擺動氣缸等產品在上海市新國際博覽中心亮相SEMICON China 2020，展示其在半導體行業的先進產品與技術。

 近年來，在5G基建、人工智能、工業互聯網和大數據等領域強勁需求的帶動下，半導體產業在迎來新機遇的同時，也面臨諸多挑戰。秉承“實現工程突破成就更好明天”的公司宗旨，派克漢尼汾始終立足市場需求，不斷實現突破，為半導體行業客戶提供安全、優質、高效的產品與技術解決方案，從而滿足日益嚴苛的行業應用需求。

 半導體行業用特種氣體品種多、質量要求高、用量少，大部分為易燃性、毒性或腐蝕性氣體。這類氣體在儲存、輸送及使用過程中，對設備部件的安全性、可靠性要求更高。派克漢尼汾旗下的CGA DISS鋼瓶接頭采用316L不銹鋼材質，內牙螺母的螺紋表面做鍍銀處理，增加潤滑性，使其在高扭矩下不被鎖死。 鋼瓶接頭本體部分經EP電拋光處理，減少顆粒物的產生。此外，墊片經硬度控制及拋光處理，Ra值在10左右。這些工藝使墊片在密封時，在額定扭矩下變形而不損傷接頭。 作為最早參與CGA DISS標準設計和推廣的成員，派克漢尼汾從材質、工藝、設計等方面讓產品更加易用、安全和可靠，降低潛在危險。

 VA01高頻閥系列產品響應快速、工作穩定，響應速度可快至2ms，大大提高生產節拍；采用專業的密封材料和設計，內泄漏量低，性能更穩定，壽命更長，可達5千萬次切換壽命；發塵量低、無潤滑油，符合 晶片級純凈度及可靠性的要求，生產更可靠，能有效提高客戶的產品質量，適用于電子半導體行業所需的潔凈室環境。 此外，產品尺寸小、重量輕、流量大，還可集成針閥以控制真空流量。該系列產品能夠利用集成式真空系統對氣體進行高速、精準地抓取與釋放（其中VA01RDP33集成了產生真空和破壞真空兩個功能），廣泛用于集成電路、硅晶片、貼片機等應用。

 PRN擺動氣缸采用KURODA軸向密封件設計，減少漏氣量，運行更平穩，壽命更長；葉片軸經過特殊熱加工，可增強轉矩，扭矩更大，不易折斷， 啟動壓力低，適應更廣泛的應用；可添加緩沖裝置CRN之類的配件，以提高轉速和負載。PRN標準型產品包括PRNA1,3,10,20等九個類型供用戶選擇，擺動葉片包括單葉片和雙葉片兩種類型，有多個角度可供調節，符合晶片切割、繞線機等半導體生產設備的應用需求。

 派克漢尼汾緊跟工業發展趨勢，根據工程師對于新一代伺服驅動器的想象和期待設計了新一代伺服驅動器產品——PSD 工業以太網型伺服驅動器，以符合工程師對于伺服驅動器產品的易用性、智能化、靈活性、網絡化的需求。PSD工業以太網型伺服驅動器可同時支持PROFINET和ETHERCAT總線，并接收旋變/編碼器/DSL絕對值等多種反饋，提供單軸、雙軸、三軸等版本供客戶選擇，讓系統更加柔性。

 展望未來，隨著半導體行業的飛速發展，人們的生活也將發生巨大變化。作為值得信賴的合作伙伴，派克漢尼汾將與半導體行業客戶并肩攜手，共同創建一個更智能、更安全、更高效的明天。 

 關于派克漢尼汾

派克漢尼汾是美國財富500強企業，是運動與控制領域的先行者。一百多年來，公司始終致力于實現工程突破成就更好明天。了解更多信息，請訪問www.parker.com/China或@parkerhannifin。