牛津儀器納米分析部在電子顯微鏡的能譜分析技術方面處于世界領先地位，該部近日剛剛成功安裝完成第 1000臺X-Max超大面積SDD能譜探頭。迄今為止，該設備為世界上唯一一臺具有80mm2晶體活區(qū)的探頭，投入市場僅僅兩年就已達到令人矚目的成績。德國柏林的Atotech公司繼之前三臺X-Max探頭投入繁忙的測試工作之后，又馬不停蹄地引進第四臺能譜儀進廠，恰好成就牛津儀器納米分析部的第 1000臺X-Max超大面積SDD能譜探頭的成功安裝。
當今世界，對納米材料的研究已逐漸成為材料及生物等研究領域的主流，而由于納米顆粒尺度較小，受到掃描電鏡的電子束照射后產生的X-ray產額較低，導致能譜EDS探頭接收的X-ray計數較低，嚴重影響能譜分析的精度及效率，因此開發(fā)出可接收更高X-ray計數的能譜探頭已成為納米材料研究的重要課題。在此背景下，世界上第一臺大面積硅漂移探頭--X-Max--正式誕生，該探頭有效的解決了納米顆粒物相鑒定困難的問題。相同條件下，X-Max探頭的晶體有效面積為80mm2，比傳統(tǒng)普通EDS探頭捕獲X-ray的能力高出十倍之多。在X-Max探頭誕生兩年前，只有SDD探頭有類似大面積晶體活區(qū)。
牛津儀器納米分析部總經理Lan Barkshire說："牛津儀器的目標是通過開發(fā)更多更先進的設備，使局限于小規(guī)模實驗室的研究轉化為全世界都大規(guī)模普及的產品，而X-Max探頭正是基于我們公司理念的最佳代表，我們最高興的事情就是聽到客戶利用新設備又做出令人振奮的結果。"
2011年1月，X-Max能譜探頭正式落戶德國柏林Atotech GmbH公司，該公司擁有世界領先的一體化生產半導體及印刷電路板產品工廠。本次安裝的X-Max能譜探頭分辨率達到124eV，大大高于規(guī)制要求。 Atotech 公司的顯微分析部負責人Ralf Schulz博士說："分析結果的可靠性與精確性對我公司來說至關重要，我們選擇安裝四臺X-Max超大面積SDD能譜探頭正式考慮到該產品在分析精度及分析效率等方面的卓越表現(xiàn)而確立的，該產品可以更塊速、更準確、更便捷的分析材料物性。"
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